식각 장비용 실리콘 전극 제품 价格：元

일반 평면 전극, 곡면 전극 등
실리콘 전극 표면에는 조밀한 미세 통공이 있으며, 웨이퍼 제조 에칭 단계에서 실리콘 전극은 추가 전압 전극으로 사용될 뿐만 아니라 에칭 가스가 챔버로 들어가는 통로 역할도 합니다.
스프레이 헤드를 예로 들면, 에칭 장비의 핵심 실리콘 부품으로 실리콘 소재가 사용되며, 표면에는 수백 개에서 많게는 천 개 이상의 미세한 구멍이 나 있어 플라즈마를 실리콘 웨이퍼 표면에 고르게 분포시켜 산화막을 정밀하게 제거함으로써 에칭 과정을 완료합니다. 중요한 소모품으로서 스프레이 헤드의 사용 수명은 약 30일로 정기적으로 교체해야 합니다.

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