식각 장비용 실리콘 링 价格：元

실리콘 링은 실리콘 전극 및 기타 관련 부품을 지지하는 부품으로, 플라즈마 건식 에칭기의 챔버 밀폐성과 청정성을 보장하며, 동시에 실리콘 웨이퍼의 가장자리를 보호합니다. 실리콘 웨이퍼를 지지하는 실리콘 링 등 소모품은 사용이 광범위하며, 일부 부품의 교체 주기는 비교적 짧아 약 10일 정도입니다.
일반 실리콘 링과 8/12인치 전극 제품은 이미 국산화되었지만, 수율이 높지 않고, 총이익이 대체로 낮거나 손실 상태에 있다.
• 국내에서는 가공 난이도가 높은 곡면 전극을 대량 생산하는 회사가 아직 없다
• 가공 장비 자동화를 통해 전극 가공 수율을 크게 향상
• 주로 가스홀 수가 평균 900개 이상인 고급 전극 제품을 생산하며, 가공 장비 자동화를 통해 가공 양품률을 크게 향상시켰습니다.

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